技术资源
电子束选区熔化设备中高压电源与铺粉机构的时序配合
电子束选区熔化技术作为金属增材制造的重要分支,在高真空环境下利用高能电子束逐层熔化金属粉末,制造出高致密度、低应力的复杂零件。该技
扫描电子显微镜背散射电子探测器高压电源的噪声抑制
扫描电子显微镜的背散射电子成像,是表征材料成分衬度与晶体学取向的核心手段。背散射电子探测器,特别是高灵敏度、能量选择性的环形或内透
原子层精密蚀刻中高压射频偏置电源的功率脉冲整形技术
原子层刻蚀作为超越摩尔定律极限的下一代图案化技术,其核心在于将传统连续刻蚀过程解构为若干个自限性的单原子层去除循环。在每个循环中,
准分子激光器放电预电离用高压脉冲电源的触发稳定性分析
准分子激光器作为深紫外波段的核心光源,在光刻、精密医疗及新材料加工领域具有不可替代的地位。其工作原理决定了它对高压脉冲电源的触发稳
深紫外光刻机照明系统积分场匀化器高压驱动电源设计
在深紫外及极紫外光刻机中,照明系统的性能直接决定了成像对比度、分辨率及线宽粗糙度。积分场匀化器是照明系统的核心元件,其作用是将入射
离子注入机束流扫描系统高压偏转电源的线性度校准方法
在离子注入工艺中,为了实现大尺寸晶圆(300mm乃至未来450mm)表面掺杂剂量的高度均匀性,离子束通常需要进行静电扫描或平行化处理。束流扫
基于氮化镓功率器件的高频高压电源提升静电卡盘响应速度研究
在半导体制造设备中,静电卡盘已成为等离子体刻蚀、薄膜沉积及离子注入等核心工艺腔室内的标准晶圆固定方案。其工作原理是利用高压电源在电
多模块高压电源并联为大型静电分离器供电的均流
在矿物加工、废塑料回收等工业领域,大型板式或滚筒式静电分离器需要数千伏至数万伏的高压直流电场,以分离不同介电常数或电导率的颗粒。这
高压电源长线驱动容性负载的谐振与过电压现象
在大型粒子探测器、某些工业加工设备或分布式实验装置中,高压电源与它所驱动的负载(如光电倍增管分压器、脉冲成形线、或一个大型电容性电