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智能高压电源在增材制造中的应用
金属增材制造（即金属3D打印）对高压电源提出了一系列极端要求：电子束功率需在数秒内从0跳变至60kW，束斑位置毫秒级精确可控，加速电压稳
AI辅助电源模块的功率分配优化
在多模块并联的高压电源系统中，传统均流控制依赖模拟反馈环路，存在响应滞后、负载突变时环流大、长期运行后模块间参数漂移等问题，导致部
智能化静电卡盘电源的反馈控制研究
静电卡盘（ESC）电源电压通常在3-12kV，电流仅微安至毫安级，但对电压纹波、响应速度、残余电荷消除能力要求极端苛刻，传统开环或简单PID控
极高压电源的智能绝缘监测方法
极高压电源工作电压常达300kV-3000kV，绝缘系统一旦劣化将引发灾难性击穿，传统定期停机油色谱、局放测试已无法满足7×24小时连续运行
高功率脉冲电源的AI散热控制策略
高功率脉冲电源在刻蚀、离子注入、EUV光源等场景下瞬时功率可达数兆瓦，平均功率却仅几十至几百千瓦，传统固定转速风冷或恒流液冷已完全无
高压电源优化离子注入产线效率
离子注入作为半导体前道核心工序，其设备节拍与可用率直接决定整条产线的吞吐能力，而高压电源的动态性能、可靠性与智能化程度往往成为效率
离子注入机高压电源精准控制方案
离子注入机对高压电源的控制精度要求达到极高水平，束流能量抖动每变化1eV都会直接影响掺杂深度偏差0 1nm以上，传统模拟控制方式已无法满足
离子注入机电源智能化管理方案
离子注入机电源管理已从传统面板操作走向全生命周期智能化，系统不再是被动执行电压指令，而是成为主动参与工艺优化、预测维护、能量管理的
离子注入机电源模块化发展趋势
离子注入机高压电源功率从300kW到2MW不等，电压覆盖10kV-3000kV，传统一体式设计已无法满足高可靠性、可维护性与柔性扩展需求。模块化正成