技术资源

静电卡盘多区域热管理的高压集成化电源解决方案

在等离子体工艺设备,如刻蚀与化学气相沉积设备中,静电卡盘不仅是固定晶圆的机械夹具,更是精密的热管理中枢。随着晶圆尺寸增大至300毫米

离子注入角度分散高压校正系统的电源技术核心

离子注入是半导体制造中不可或缺的掺杂工艺,其技术趋势正朝着超浅结、高均匀性和三维结构保形掺杂方向发展。在此过程中,离子束入射角度的

镀膜脉冲电源在薄膜纳米织构控制中的应用探析

在先进薄膜制备领域,薄膜的纳米级微观结构织构直接决定了其力学、电学、光学及催化等宏观性能。传统的直流或射频溅射电源在控制薄膜织构方

PPM级电源环境电磁场抗扰设计

在精密仪器仪表、科学实验装置、医疗成像设备以及高端通信系统中,往往需要为敏感的前端传感器、低噪声放大器或高精度数据转换电路提供供电

中子发生器束流脉冲同步高压

中子发生器作为一种紧凑型的中子源,在石油测井、爆炸物检测、材料分析、辐照育种及核物理研究等领域应用广泛。其核心原理通常是通过直流或

静电纺丝环境气流辅助高压成形

静电纺丝技术作为一种直接、连续制备微纳米纤维的重要方法,在材料科学、生物医学、过滤防护等领域展现巨大潜力。其基本原理是利用高压静电

塑料高光谱成像分选中高压光源的驱动电源核心作用

在工业塑料分选回收领域,基于高光谱成像的智能分选技术正迅速成为提升回收品纯度与价值的关键。该技术的物理基础在于,不同种类、颜色甚至

真空镀膜基片旋转双偏压系统的高压电源技术剖析

在现代高端真空镀膜设备中,基片旋转双偏压系统是提升薄膜均匀性、附着力和微观结构的关键装置。该系统通过在两套独立的偏压电极上施加可调

磁控溅射高功率脉冲等离子体诊断中的高压电源应用

在磁控溅射镀膜工艺的前沿领域,高功率脉冲磁控溅射技术以其能够制备致密、高性能薄膜的特性而备受关注。该技术的核心驱动力之一,便是其独