技术资源

准分子激光光束匀化高压驱动

在工业微加工、平板显示制造、半导体光刻(尤其是退火与剥离工艺)、医疗器械表面处理及精密打标等领域,准分子激光以其短波长(深紫外至紫

离子注入晶圆热预算控制高压电源

在先进半导体制造中,离子注入是精确控制掺杂、调整器件电学特性的关键工艺步骤。随着技术节点进入纳米尺度,尤其是对于三维FinFET、GAA晶

电子束直写抗蚀剂灵敏度优化电源

电子束直写技术作为分辨率最高的光刻手段之一,在纳米器件研发、掩模版制作及特殊微纳结构加工中具有不可替代的地位。其过程是将聚焦至纳米

静电卡盘边缘效应补偿高压电源

在半导体先进制程的干法刻蚀与化学气相沉积设备中,静电卡盘是晶圆温度控制与固定技术的核心。其通过施加高压直流或交流电场,利用约翰逊-

PPM级电源远程量子基准比对

在现代精密计量、高端仪器校准以及前沿基础科学研究中,对直流电压和电流基准的准确度与长期稳定性要求已逼近物理极限。基于约瑟夫森效应和

225kV高压电源故障电弧快速切断

在高压静电除尘、粒子加速器注入器、X射线发生器、高压电缆测试等应用场合,225kV量级的高压直流电源是核心动力源。此类电源系统在运行时,

静电植绒三维曲面自适应高压电源

在纺织、包装、汽车内饰以及创意设计等领域,静电植绒工艺为产品表面赋予独特的绒面质感、缓冲性能或装饰效果。其传统过程是在平面基材上涂

加速器束流踢出器高压快脉冲电源

在高能物理加速器、同步辐射光源及散裂中子源等大型科学装置中,束流踢出器是一种用于将储存环中的束流在极短时间内偏转引出,或用于束流注

电子束金属3D打印残余应力控制电源

电子束熔丝增材制造或电子束粉末床熔融技术,在制备大型、复杂结构的高性能金属构件方面展现出巨大潜力。然而,成形过程中因快速熔凝和复杂