技术资源

12英寸晶圆厂静电卡盘高压电源的远程诊断与维持

在先进的12英寸晶圆制造厂中,等离子体蚀刻、化学气相沉积等核心工艺设备普遍采用静电卡盘来固定硅片。其通过高压电源施加数百至数千伏直流

320kV可编程高压电源在高压电缆局放测试中的集成

局部放电检测是评估高压电缆及其附件绝缘状态、保障电网安全运行最为有效的手段之一。传统的工频串联谐振试验系统虽然能提供所需的高电压,

450kV高压电源用于静电悬浮轴承的电场力控制研究

静电悬浮轴承作为一种非接触式支撑技术,在高真空、超高速旋转机械及空间应用等领域展现出独特优势。与传统的磁悬浮相比,静电悬浮不存在涡

225kV精密高压电源在介电谱测量系统中的温度补偿

介电谱测量,作为一种研究电介质材料极化与弛豫行为的重要技术手段,广泛应用于绝缘材料老化诊断、生物组织特性分析、化学物质检测以及新型

160kV直流高压电源在电子束焊接中的束流聚焦应用

电子束焊接作为一种高能密度束流加工技术,以其熔深大、深宽比高、热影响区小、焊接变形小和真空环境纯净等优势,广泛应用于航空航天、核工

强流中子加速器高压电源的故障电弧检测与快速保护

在强流中子加速器装置中,高压电源是其离子源或加速结构不可或缺的心脏,为带电粒子提供初始能量或持续的加速电场。这类电源往往工作于数十

医疗用品电子束辐照灭菌高压电源的剂量率精确控制

电子束辐照灭菌是一种高效、快速、无残留且可在常温下进行的冷灭菌技术,广泛应用于医疗器械、药品包装、卫生材料等医疗用品的终端灭菌。其

工业X射线无损检测高压电源的管电流纹波控制新方案

在工业X射线无损检测系统中,X射线管是产生射线的核心部件,其工作特性直接决定了成像质量与检测可靠性。X射线管的管电压(高压)决定了产

宽范围离子注入高压电源的能量分辨率与束流品质关联

在半导体制造与材料表面改性领域,离子注入机是极其精密的设备,其核心功能是将具有特定能量和剂量的离子束注入靶材。注入离子的能量决定了