技术资源
高压电源优化离子注入产线效率
离子注入作为半导体前道核心工序，其设备节拍与可用率直接决定整条产线的吞吐能力，而高压电源的动态性能、可靠性与智能化程度往往成为效率
离子注入机高压电源精准控制方案
离子注入机对高压电源的控制精度要求达到极高水平，束流能量抖动每变化1eV都会直接影响掺杂深度偏差0 1nm以上，传统模拟控制方式已无法满足
离子注入机电源智能化管理方案
离子注入机电源管理已从传统面板操作走向全生命周期智能化，系统不再是被动执行电压指令，而是成为主动参与工艺优化、预测维护、能量管理的
离子注入机电源模块化发展趋势
离子注入机高压电源功率从300kW到2MW不等，电压覆盖10kV-3000kV，传统一体式设计已无法满足高可靠性、可维护性与柔性扩展需求。模块化正成
高压电源驱动离子束刻蚀精度提升
离子束刻蚀对束流能量稳定性的要求已进入ppm级，任何电压微小波动都会直接映射为刻蚀侧壁角度偏差与深度不均。高压电源作为决定离子能量唯
高压电源驱动封测设备精度提升
在集成电路封测环节中，测试设备的精度直接决定了芯片的良率和可靠性，而高压电源作为核心驱动部件，其性能的优提升往往能带来测试精度的显
封测设备电源国产化及应用探索
长期以来，高端封测设备所配备的高压电源主要依赖进口，不仅价格昂贵、供货周期长，而且在关键时刻容易受制于人。随着国内宽禁带半导体器件
高压电源优化封测设备维护效率
封测设备的高压电源长期处于高频开关、高电压应力状态，传统电源的故障诊断困难、维修门槛高、停机损失大，已成为制约产线OEE提升的主要瓶
封测设备电源模块化创新路径
半导体封测设备对电源系统的可靠性、响应速度和可维护性提出了极高要求，尤其在晶圆级测试、最终测试以及系统级测试阶段，高压电源往往需要