技术资源

扫描电镜低电压表面敏感高压模式

扫描电子显微镜是材料科学、生命科学和半导体工业中不可或缺的表征工具。传统的高电压(通常指10kV以上)成像模式能提供较高的信号强度和分

准分子激光脉冲时序高压精确同步

准分子激光以其波长短、脉宽窄、单脉冲能量高的特点,在工业微加工、光刻、薄膜退火、眼科手术及科学研究中广泛应用。许多先进的加工工艺,

离子注入缺陷钝化高压协同退火

离子注入技术是半导体制造中不可或缺的掺杂工艺,它能够精确控制杂质的浓度和分布。然而,高能离子轰击硅晶格会引入大量的点缺陷、间隙原子

电子束曝光邻近效应实时校正高压

电子束直写曝光是制备纳米级乃至亚纳米级光掩模、原型器件以及特殊结构的关键技术。其利用聚焦到纳米尺寸的高能电子束,在涂有抗蚀剂的基片

静电卡盘功率因数校正高压拓扑

在半导体制造、平板显示等领域的干法刻蚀和化学气相沉积工艺中,静电卡盘已成为晶圆或基板夹持的主流技术。其通过施加数千伏的高压静电场,

PPM级电源量子基准长期稳定性

在现代精密计量、前沿物理实验以及高端仪器仪表领域,对电压基准的长期稳定性和绝对准确度提出了前所未有的要求,其指标常需达到百万分之一

离子束纳米压印中高压辅助成型技术探析

纳米制造技术是推动下一代电子器件、光学元件和生物芯片发展的基石。在众多纳米图案化技术中,离子束纳米压印技术因其高分辨率、高保真度及

450kV高压电源故障智能预诊断系统研究

在大型工业装备、科学研究装置及特种材料处理等领域,450kV及以上的直流高压电源是核心动力单元,其运行可靠性直接关系到整个系统的安全与

静电植绒异形基材自适应高压场技术应用

在材料表面处理领域,静电植绒技术以其独特的装饰与功能特性,长期占据重要地位。随着工业设计中对复杂造型部件需求的激增,传统的平面植绒