技术资源
检测设备电源节能与效率提升方案
检测设备单台功率虽不如刻蚀、沉积设备，但7×24小时高负荷运行与频繁的高压脉冲需求使电源能耗同样惊人。检测电源节能与效率提升方案
高压电源驱动检测工艺精度优化
检测工艺精度的瓶颈已从光学系统、机械结构逐步转移到高压电源的输出特性，电压的微小不稳定直接放大为缺陷误判或漏判。高压电源通过超低纹
检测设备电源智能化升级路径
半导体检测设备电源的智能化升级已从简单的数字面板走向深度感知、自主决策与工艺闭环的全面融合，整个升级路径通常分为感知层、控制层、决
高压电源优化检测产线维护效率
检测产线的维护效率直接决定OEE，而高压电源作为故障率相对较高的子系统，其维护难度和停机时间长期困扰着设备工程师。新型高压电源通过一
检测机电源模块化发展趋势
检测机电源的模块化已从最初的便于维修演变为涵盖电气性能、产线柔性、成本控制和智能化等多维度的系统性趋势，模块化程度的高低正成为衡量
高压电源提升检测产线产能与精度
检测产线的产能与最终检测精度高度依赖高压电源的综合性能，传统电源在长时间运行中的参数漂移、响应滞后以及保护误动作往往成为限制单机产
检测设备电源国产化及创新应用
半导体检测设备对高压电源的可靠性、精度和响应速度要求极高，过去高端检测平台几乎全部依赖进口电源，不仅采购成本高昂，而且在供应链安全
高压电源智能控制优化产线管理
高压电源的传统控制方式主要依赖设备本地面板与简单PLC联锁，参数调整分散、运行状态割裂、异常响应滞后，已难以满足现代产线对可视化、预
精密稳压电源助力设备良率提升
在先进制程与高精度镀膜、刻蚀、检测等设备中，工艺结果对供电电压的微小波动极其敏感，哪怕0 1%的瞬态变化都可能导致数十纳米的线宽偏差或