TESC7081
泰思曼 TESC7081 系列静电卡盘专用高压电源，是一款专为驱动静电吸盘装置设计的高性能电源产品，2 路独立输出设计，每一路可输出±5kV，正负极性切换小于 20ms。该产品不仅随附详细的使用说明文档，更在实际应用中表现出卓越的能效水平。根据客户反馈，搭载该电源系统后生产效率显著提升，甚至达到其他同类系统的三倍以上。此外，TESC7081 系列还成功应对了晶圆粘连与爆裂等行业常见难题，从而大幅提升了对颗粒污染的控制能力。凭借其出色的多功能性与稳定性能，TESC7081系列可广泛应用于多种特殊工艺场景，满足不同客户的高标准需求。
典型应用：静电卡盘；E-Chuck；静电吸盘；静电驱动材料处理；半导体晶圆加工；非机械传输平板或其他对机械剪切敏感的加工材料
产品资料 返回列表产品特点
- 库仑型
- 可自定义夹紧/松开顺序和波形，配置文件可通过软件界面上传并存储；
- 前面板控制可锁定，防止误操作；
- 支持过电流、晶圆状态、夹紧阈值、电压控制等参数调节；
- 支持幅度/偏移在线调整和多样化输出控制；
- 输出可通过 RS485 通信或前面板操作；
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产品规格
输入
+24VDC±5%，6A。
通道数
2 路，每路独立可调。
调节范围
每路-5kV~+5kV 连续可调。
输出电流
6.5mA
电压精度
额定值±1%。
纹波
0.1%p-p
过零特性
支持。
过冲（超调/失调）
典型<2V（10nf 负载时，从-5kV 到+5kV）。
输入到输出延时
优于 3ms。
转换（升/降）速率
典型 20ms（10nf 负载时，从-5kV 到+5kV）。
循环频率
典型 50Hz（10nf 负载时，从-5kV 到+5kV）。
输出阻抗
＞20kΩ（单路）。
电压显示
分辨率= 1V。精度优于±50V。
电流显示
分辨率=10μA。精度=实际输出±100μA 偏移的±2%。
稳定度
开机 0.5 小时后每 8 小时小于 0.01%。
输入调整率
在任何负载条件下，10%输入电压变化<0.1%。
负载调整率
从零到满负载<1.3%。
保护
输入过/欠压、过流保护，输出过压、过流、过温。
前面板控制
液晶显示屏，电压调节、电流设定、一键 d-chuck 等。
通信
通过 DB25 模拟量控制，也可选择 RS-485 串行接口（其他接口可定制）。
控制信号
0 对应-5kV，5V 对应 0kV，10V 对应+5kV（其他形式可定制）。
典型负载电容
<10nF(对于其他负载电容，请联系泰思曼)。
在位电容检测范围
100nF 以内。
温度系数
电压和电流优于 300ppm/℃。满载时<0.1%p-p，最大输出。
环境温度
工作时
0˚C 至 45˚C；
储存时
-20˚C 至 70˚C。
湿度
0 至 85%RH，非冷凝。
冷却
自然冷却。
外形尺寸
宽 241 mm ，高 88 mm ，深 411mm。