TESC7080-C0021 客户定制高压电源

TESC7080-C0021

泰思曼 TESC7080 系列静电卡盘专用高压电源,提供±2kV 精准输出(精度±1%,纹波<100mVp-p),漏电流监控保护值 0-20mA 可设置,支持 30nF 内在位电容检测。具备 20ms 快速过零切换能力,集成多重保护功能,支持模拟量/RS232 控制/USB 控制/以太网控制及液晶显示。已应用于半导体离子注入和刻蚀设备中,性能稳定可靠。它的封装设计紧凑轻便,可 OEM。

典型应用:E-Chuck;静电卡盘;静电吸盘;静电吸附系统

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产品特点

  • +24V DC 输入
  • 双极性输出,20ms 极性切换
  • 平滑过零
  • 模拟量控制/RS232 控制/USB 控制/以太网控制
  • 2pF-30nF 在位电容检测范围
  • 在位电容检测速度 1s 内 10 次

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产品规格

输入

+24VDC±5%,5A。

通道数

2 路,每路独立可调。

调节范围

每路-2kV~+2kV 连续可调。

电压精度

额定值±1%。

纹波

典型<100mVp-p(10nf 下,0~1MHz,平顶纹波)。

过零特性

支持。

过冲(超调/失调)

典型<2V(10nf 负载时,从-2kV 到+2kV)。

输入到输出延时

优于 3ms。

转换(升/降)速率

典型 20ms(10nf 负载时,从-2kV 到+2kV)。

循环频率

典型 50Hz(10nf 负载时,从-2kV 到+2kV)。

输出阻抗

>20kΩ(单路)。

电压显示

分辨率= 1V。精度优于±50V。

电流显示

分辨率=10μA。精度=实际输出±100μA 偏移的±2%。

稳定度

开机 0.5 小时后每 8 小时小于 0.01%。

输入调整率

在任何负载条件下,10%输入电压变化<0.1%。

负载调整率

从零到满负载<1.3%。

保护

输入过/欠压、过流保护,输出过压、过流、过温。

前面板控制

液晶显示屏,电压调节、电流设定、clamp、d-clamp 等。

通信

通过 DB15 模拟量控制,也可选择 RS-232 串行接口(其他接口可定制)。

控制信号

0 对应-2kV,5V 对应 0kV,10V 对应+2kV(其他形式可定制)。

典型负载电容

<30nF(对于其他负载电容,请联系泰思曼)。

在位电容检测范围

30nF 以内。

温度系数

电压和电流优于 300ppm/℃。满载时<0.1%p-p,最大输出。

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C

储存时

-20˚C 至 70˚C

湿度

0 至 85%RH,非冷凝。

冷却

自然冷却。

外形尺寸

宽 482.6 mm ,高 44 mm ,深 457mm。

重量

3kg。