高压电源驱动清洗产线自动化

晶圆清洗产线正从人工看守的“少人化”迈向真正的无人化运行，高压电源作为能量与信息的双重载体，已成为驱动这一转变的核心引擎。它不仅提供高压静电、射频、脉冲三种能量形式，更通过深度集成感知、决策、执行功能，实现无人值守下的工艺一致性与异常自处置。

无人化清洗的第一步是配方自动加载与零人工干预换型。传统换化学品需人工现场反复试洗，新方案中，机械手扫描晶圆条码后，电源自动从云端下载对应清洗配方，自动完成臭氧浓度、静电电压、兆声脉冲参数的精准设定，配合化学品自动供给系统实现一键启动。整个过程无人到场，首次清洗合格率达99.7%。

实时工艺闭环让机器自己纠正自己。电源实时接收在线颗粒计数器、金属污染监测仪、pH值传感器反馈，当检测到铜离子超标0.3ppb时，电源自动延长臭氧水处理时间8秒并提升静电排斥电压至42kV，直至指标回标。 整个闭环调整时间小于30秒，彻底消除了人工判断的迟滞与波动。

异常自动处置能力杜绝了批量报废。当兆声换能器出现气泡导致空化强度突降时，电源在0.4秒内自动切换到备用频率并发出机械手更换换能器指令，同时将当前批次晶圆转移至缓冲区待复洗，整个过程无需人工介入，批次良率影响降至零。

跨站协同实现了产线级自动化。当下游金属污染检测站发现某批晶圆铜残留偏高时，电源自动回溯上游清洗记录，并通知上游光刻站收紧曝光能量，同时将该批次标记为重点监控， 真正实现前馈+反馈双闭环。

再生能量与化学品智能调度进一步提升自动化水平。 高压臭氧发生器与射频电源的再生能量自动用于加热纯水系统，化学品根据实时消耗曲线自动补液， 整个清洗线峰值功率需求下降32%，化学品库存精确到升。

高压电源驱动的清洗产线自动化，已使单条线从过去需要18人三班倒减少到2人白班巡检，化学品换型时间从2小时缩短到8分钟，综合产能提升68%，真正实现了“机器自己清洗、自己管自己”的黑灯工厂场景。