辉光放电_等离子体

辉光放电

高稳定性、高精度、控制多样化、起弧响应速度快

“辉光放电”是一种特定的放电现象。当气体中施加足够的电压时,会出现气体放电,形成具有辉光特征的光辉。该原理广泛应用于多种工业设备,例如刻蚀机、氦氖激光器、医用加速器、PVD真空镀膜机以及磁控溅射镀膜机等。辉光放电在半导体生产、污水处理、灭菌消毒、聚合物材料表面改性及分析仪器的离子源等领域具有重要的应用价值。