主要用于半导体、纳米技术材料科学领域，除半导体集成电路领域的广泛应用之外,电子束曝光在仪器领域的典型应用还包括:极紫外及X射线聚焦/成像/分光元件、仪器测试与校准用100nm尺度以下标准样品及测试卡、极高工作频率声表波换能器、新-代光学系统平面透镜元件、第三代纳米孔DNA测序等。
