离子源

高稳定性和超低纹波、快速的电弧相应、抗干扰高可靠

离子源是带电粒子设备的“心脏”，负责将气体或固体材料电离，产生并筛选出所需离子，形成初始束流。作为加速器、分析仪器及离子注入系统的起点，其性能直接决定了下游应用的质量。广泛应用于半导体芯片制造、材料表面改性、医疗同位素生产、癌症粒子治疗及前沿核物理研究等领域。
这一核心过程高度依赖为其供电的高压电源。电源的稳定性与低纹波决定了束流的能量纯度，其抗电弧能力保障了离子源的长期可靠运行，而精准的数字控制则是实现稳定复现与工艺可控的关键。为离子源匹配高性能电源，是从源头确保整个系统卓越表现的基础。