准分子激光器

采用模块化设计，具备良好的扩展性与可靠性

准分子激光器是以受激二聚体（如惰性气体和卤素混合物）为工作物质的气体激光器件，属于紫外波段脉冲激光器。采用电子束或快速脉冲放电激励，通过受激态准分子离解释放激光辐射。通过光化学效应实现材料精确去除，应用于角膜屈光手术和皮肤病治疗。工业领域涵盖光刻机光源、微型零件加工、光纤刻写等