透射电镜（TEM）

极低纹波和超稳定输出（1ppm级） 高电压输出与宽调范围（0-400kV） 高可靠性与长寿命 智能化与数字化控制 可提供高度定制化的解决方案

透射电子显微镜（TEM）利用加速电子束穿透超薄样品，通过电子与原子碰撞产生的散射角差异形成影像，分辨率达0.1～0.2nm，放大倍数几万至百万倍，广泛应用于超微结构观察。在半导体领域，主要应用于半导体材料的晶体结构分析、半导体器件的结构表征、半导体材料的掺杂分布与扩散、半导体器件的失效分析、半导体制造工艺中的结构优化等。