纹波优于0 1%峰峰值、电弧快恢复、低电弧放电电流、纳秒级保护响应
溅射镀膜技术利用高能粒子(如氩离子)在真空环境中轰击靶材,使靶材表面的原子获得足够的能量而逸出,形成中性原子或分子束流,这些粒子随后沉积在基材表面形成薄膜。 该过程通常在低压条件下进行,气体(通常为氩气)被引入真空室中,并在高电压下进行辉光放电,产生离子化气体。