技术资源_泰思曼高压电源

蚀刻设备高压电源谐波抑制技术研究与应用

一、谐波成因与危害蚀刻设备的高压电源在工作时需将工频交流电转换为高频高压电能，其核心的整流与逆变电路（如IGBT、SiC器件）在开关过程

准分子激光器作为深紫外波段的核心光源，在光刻、医疗和精密加工等领域具有不可替代的作用。其性能高度依赖高压电源的稳定性与响应速度。传

光刻机作为半导体制造的核心设备，其性能直接取决于光源系统的精度与稳定性。深紫外（DUV）光源（波长193nm 248nm）是目前先进芯片制程的关

离子注入机是半导体制造的关键设备，其高压电源需提供数万至数百万伏特的稳定电压，以精确控制杂质离子注入晶片的深度和浓度。然而，高压电

一、高压绝缘材料的核心要求电学性能高介电强度：绝缘层需承受1 5–5 kV mm的高压电场，防止击穿失效。例如，氮化铝（AlN）陶瓷的介

电子显微镜（EM）作为纳米级观测的核心工具，其分辨率直接依赖高压电源的稳定性。高压电源为电子枪提供加速电压（通常为几千伏至几百千伏）

一、高频高压电源的技术原理高频高压电源是蚀刻设备的核心部件，其设计基于高频开关技术与谐振转换原理：电能转换机制：通过功率开关器件（

一、技术原理与核心挑战准分子激光以惰性气体和卤素气体的受激二聚体为增益介质，其跃迁发生在激发态（束缚态）与基态（自由态）之间，属于

引言光刻机作为半导体制造的核心设备，其高压电源（通常需提供数千伏电压及毫安级电流）的稳定性直接影响曝光精度。然而，高压电源在开关过