技术资源
光刻机高压电源在先进节点与EUV辅助工艺中的关键供电技术
光刻机是半导体制造的核心设备，用于将电路图形从掩膜板转移到涂有光刻胶的晶圆上。随着半导体工艺节点不断缩小，从数十纳米到数纳米，光刻
反蜂群无人机定向能武器高压电源的模块化热设计与冗余备份
反蜂群无人机定向能武器是应对无人机蜂群威胁的新型防御装备，利用高功率微波或激光束对无人机进行软杀伤或硬摧毁。蜂群无人机具有数量多、
电子束系统高压电源在材料表面硬化与微电子改性中的能量
材料表面硬化是提升机械零件耐磨性和使用寿命的重要工艺手段，通过改变材料表层的组织结构和应力状态，显著提高表面硬度和抗疲劳性能。微电
磁控溅射高压电源在柔性基板与大型显示屏镀膜中的扩展应用
柔性电子是新兴的电子技术领域，以柔性基板为载体，实现电子器件的可弯曲、可折叠和可拉伸特性。大型显示屏是信息显示的重要载体，广泛应用
电子束增材制造高压电源材料适应性与熔池能量均匀化技术
电子束增材制造是一种利用电子束在真空环境中逐层熔化金属粉末构建三维零件的先进制造技术。该技术具有材料利用率高、设计自由度大、适合复
蚀刻设备高压电源在三维复杂结构刻蚀深宽比调控中的功率
三维复杂结构刻蚀是微纳制造中的关键技术，用于制造微机电系统、三维集成电路和光子晶体等先进器件。深宽比是评价刻蚀结构的重要指标，定义
准分子激光器高压电源在掩膜板修复与激光打标系统中的能量
掩膜板是半导体制造中的关键工具，用于光刻工艺中将电路图形转移到晶圆上。掩膜板上的缺陷会直接影响芯片的成品率，需要及时修复。激光打标
反蜂群无人机定向能武器高压电源快速充电与脉冲重复率优化
反蜂群无人机定向能武器是应对无人机蜂群威胁的新型防御装备，利用高功率微波或激光束对无人机进行软杀伤或硬摧毁。蜂群无人机具有数量多、
离子束系统高压电源在表面纳米图案化与离子刻蚀中的控制
表面纳米图案化是在材料表面制备纳米尺度的规则图案的技术，广泛应用于光电器件、传感器、生物医学和微纳制造等领域。离子刻蚀是利用离子束