技术资源_泰思曼高压电源

蚀刻设备高压电源故障自恢复技术的创新与应用

在半导体制造工艺中，蚀刻设备依赖高压电源（通常达千伏级）驱动等离子体生成，以实现纳米级精度的晶圆蚀刻。然而，高压电源在运行中易因打

1 引言准分子激光器以其短波长（紫外至深紫外波段）、高功率密度和纳秒级脉冲输出能力，在光刻、材料加工、医疗及惯性约束聚变（ICF）等领

光刻机作为半导体制造的核心装备，其精度直接决定芯片的纳米级结构。在光刻工艺中，高压电源为深紫外（DUV）或极紫外（EUV）光源提供驱动能

离子注入技术是半导体制造的核心工艺，其精度直接影响器件的电学特性与可靠性。高压电源作为离子注入系统的动力心脏，其效率优化成为突破半

静电卡盘作为半导体制造、精密仪器组装等领域的关键设备，其稳定运行直接关系到工艺精度与良品率。高压电源作为静电卡盘的核心动力源，其工

高压电源是扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）的核心部件，负责提供稳定的电子束加速电压（通常达30 kV以上）。然而，电源波动

一、负载匹配的技术原理在等离子体蚀刻设备中，高压电源通过激发反应气体形成等离子体，其中的离子在电场作用下轰击材料表面实现刻蚀。负载

准分子激光器作为紫外波段的高能脉冲光源，在光刻、医疗及精密加工领域具有不可替代的作用。然而，其高压电源在工作时产生的巨大热量（电能

一、静电卡盘高压电源的核心作用静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）是半导体制造、精密加工中的核心夹持设备，其依赖高压电源（通常为