技术资源

E-CHUCK高压电源绝缘材料创新在高温真空环境长期可靠性中的研究

静电卡盘是半导体制造设备中固定晶圆的关键部件,高压电源为静电卡盘提供吸附电压。在高温真空环境下,绝缘材料的性能直接影响静电卡盘和高

320kV高压电源穿透能力增强在大型工业无损检测设备中的工程应用

大型工业无损检测设备是保障工业装备安全运行的重要工具,X射线检测技术以其直观准确的特点被广泛应用。三百二十千伏高压电源为X射线发生器

离子注入设备中高压电源剂量反馈闭环系统在芯片制造中的优化应用

离子注入是半导体芯片制造的关键工艺,用于在晶圆中引入掺杂原子形成器件结构。高压电源为离子注入机提供加速电压和束流控制,其性能直接影

半导体光刻机光源准分子激光器高压电源能量同步控制的先进算法研究

光刻机是半导体制造的核心设备,准分子激光器是深紫外光刻的主流光源。高压电源为准分子激光器的放电激励提供能量,其能量同步控制精度直接

离子束系统高压电源在纳米级加工中心与束流稳定中的高精度控制

离子束加工技术是纳米级精密加工的重要手段,在纳米加工中心和离子束设备中发挥着关键作用。高压电源作为离子束系统的核心部件,其高精度控

电子束系统高压电源在3D微结构加工与真空器件中的供电

电子束加工技术以其高分辨率和精确控制能力,在三维微结构加工和真空器件制造中发挥着重要作用。高压电源作为电子束系统的核心部件,其供电

静电植绒高压电源在功能纺织与汽车面料中的参数优化

静电植绒技术是利用静电场将短纤维垂直植入涂有胶粘剂的基材表面,形成绒毛覆盖层的工艺。高压电源作为静电植绒设备的核心部件,其参数设置

毛细管电泳高压电源在环境检测与中药分离中的电压梯度

毛细管电泳技术是现代分离分析的重要手段,在环境检测和中药分离领域发挥着独特优势。高压电源作为毛细管电泳系统的核心部件,其电压梯度控

极性可切换高压电源在静电分选与喷涂设备中的切换

极性可切换高压电源是一种能够在正负极性之间快速切换的特殊高压电源,在静电分选和静电喷涂等领域发挥着重要作用。极性切换功能扩展了高压