技术资源_泰思曼高压电源

准分子激光高压电源气体纯度影响分析

准分子激光器（如ArF、KrF、XeCl等）依靠高压电源驱动气体放电，产生高能紫外激光束，广泛应用于半导体光刻、医疗手术、精密加工等领域。气

半导体制造的关键挑战与创新解决方案在极紫外（EUV）光刻技术主导的半导体制造中，高压电源的瞬态谐波控制直接决定光刻精度与良率。瞬态谐

离子注入作为半导体制造的核心工艺之一，其精度直接影响器件的电学性能和良率。传统高压电源在离子注入过程中存在两大痛点：一是注入能量的

1 静电卡盘的工作原理与表面电荷的生成机制静电卡盘（ESC）通过高压电源在电极上施加直流电压（通常为500–4000 V），使晶片与介电

摘要准分子激光器在半导体光刻、眼科手术等领域具有不可替代的作用，其输出脉冲的时序精度直接影响工艺质量。高压电源作为驱动核心，放电延

光刻机作为半导体制造的核心设备，其高压电源的电磁兼容性（EMC）直接影响曝光精度与系统稳定性。高压电源在工作时产生的瞬态干扰、谐波噪

在半导体制造中，离子注入是定义器件电学特性的关键工艺，其精度直接影响芯片的性能与良率。离子注入机的高压电源系统需为离子加速提供稳定

在半导体制造工艺中，静电卡盘（ESC）通过高压电场吸附晶圆，其电源系统的性能直接影响工艺精度与稳定性。介质损耗作为高压电源的核心问题

电子显微镜（EM）对物质微观世界的揭示能力，其核心驱动力之一在于高压电源（High Voltage Power Supply, HVPS）的卓越表现。传统HVPS