技术资源

亚原子尺度的光:透射电镜高压电源的精密控制革命

在透射电子显微镜(TEM)技术领域,亚原子级成像的实现依赖于高压电源的极致精度。作为电镜的心脏,高压电源为电子枪提供能量,直接影响电

高压电源在蚀刻设备中的工艺参数自整定技术发展

在半导体制造中,等离子体刻蚀的精度直接决定芯片微观结构的成形质量。高压电源作为等离子体的能量来源,其工艺参数的实时自整定能力已成为

准分子激光高压电源光学同步触发技术的应用与突破

准分子激光器(如ArF、KrF等)作为深紫外波段的高功率脉冲光源,在半导体光刻、微纳加工、医疗等领域具有不可替代的地位。其性能核心依赖于

光刻机高压电源的电磁脉冲防护:技术挑战与创新方案

在高端光刻机中,高压电源(通常需稳定输出数千至数万伏直流电压)的稳定性直接决定曝光精度。然而,电磁脉冲(EMP)的瞬态干扰(上升时间

高压电源在曝光机中的效率提升研究

曝光机是半导体制造和精密光刻的核心设备,其成像质量直接依赖于高压电源的稳定性和效率。传统高压电源存在能耗高、热损耗大、体积笨重等问

电子束高压电源纹波抑制技术

在电子束焊接、精密熔炼及真空镀膜等工业领域,高压电源的纹波系数直接决定了工艺质量。纹波(输出电压中的交流脉动成分)会引发电子束轨迹

高压电源小型化在曝光机中的技术路径与应用展望

曝光机作为半导体、平板显示制造的核心设备,其精度直接决定芯片制程与显示面板的分辨率。高压电源作为曝光机的关键子系统,负责驱动光源和

电子束高压电源过流保护设计的关键技术与应用

电子束高压电源广泛应用于工业加工、医疗设备及科研装置中,其核心需求是在高电压(通常数千至数万伏)、大电流脉冲场景下保持稳定运行。然

曝光机高压电源动态响应优化技术研究

在微电子制造、光伏面板生产和精密显示器件加工中,曝光机是光刻工艺的核心设备,其成像质量直接决定产品良率。高压电源作为曝光机的关键子