技术资源
电镜高压电源分布式供电架构的技术演进与应用价值
电子显微镜（SEM TEM）的性能直接依赖于高压电源的稳定性。电镜的电子枪需产生高能电子束（通常为1–300 kV）
光刻机高压电源自适应谐振补偿技术研究
引言光刻机作为半导体制造的核心装备，其高压电源的性能直接影响曝光精度与芯片良率。高压电源需为电子束偏转系统、离子光学单元等关键部件
离子注入高压电源的数字孪生监测技术：突破精度与可靠性的新范式
在半导体制造、核工业及材料表面改性等领域，离子注入技术是实现材料性能精准调控的核心工艺。高压电源作为离子注入设备的心脏，其输出稳定
静电卡盘高压电源瞬态过冲抑制技术研究
在半导体制造、精密仪器加工等领域，静电卡盘（ESC）通过高压静电吸附实现晶圆或工件的无机械接触固定，其核心驱动元件——高压电源的稳定
电镜高压电源超低漂移设计的关键技术与应用
在电子显微镜（电镜）系统中，高压电源的稳定性直接决定了成像质量。高压电源的微小漂移（如电压波动、纹波或温度漂移）会导致电子束能量偏
高压电源阻抗匹配优化在蚀刻设备中的关键技术与应用
在半导体制造领域，蚀刻设备的高压电源性能直接决定了工艺精度与设备稳定性。高压电源的输出阻抗与等离子体腔室负载阻抗的匹配程度，是影响
离子注入高压电源智能均流控制的技术突破与应用
摘要离子注入是半导体制造中的核心工艺，其精度直接决定器件的电学特性与可靠性。高压电源作为离子注入系统的动力心脏，其输出稳定性对杂质
静电卡盘高压电源谐振抑制技术：原理与创新方案
在半导体制造工艺中，静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）是晶圆蚀刻、沉积等关键工序的核心夹具，其稳定性直接决定工艺精度。高压电源
离子注入高压电源的轻载高效模式：技术突破与应用价值
在半导体制造、新材料改性等领域，离子注入工艺常面临轻载工况（如局部掺杂、微区修整或科研级小剂量注入），传统高压电源在此类场景下存在