技术资源
静电卡盘功率因数校正高压拓扑
在半导体制造、平板显示等领域的干法刻蚀和化学气相沉积工艺中,静电卡盘已成为晶圆或基板夹持的主流技术。其通过施加数千伏的高压静电场,
PPM级电源量子基准长期稳定性
在现代精密计量、前沿物理实验以及高端仪器仪表领域,对电压基准的长期稳定性和绝对准确度提出了前所未有的要求,其指标常需达到百万分之一
离子束纳米压印中高压辅助成型技术探析
纳米制造技术是推动下一代电子器件、光学元件和生物芯片发展的基石。在众多纳米图案化技术中,离子束纳米压印技术因其高分辨率、高保真度及
450kV高压电源故障智能预诊断系统研究
在大型工业装备、科学研究装置及特种材料处理等领域,450kV及以上的直流高压电源是核心动力单元,其运行可靠性直接关系到整个系统的安全与
静电植绒异形基材自适应高压场技术应用
在材料表面处理领域,静电植绒技术以其独特的装饰与功能特性,长期占据重要地位。随着工业设计中对复杂造型部件需求的激增,传统的平面植绒
加速器束流准直器高压自适应调节
在粒子加速器装置中,束流准直器扮演着交通警察的关键角色,其主要任务是通过物理拦截的方式,剔除束流核心部分以外的晕圈粒子或尾场粒子,
电子束多材料梯度功能高压制造
在先进制造业的前沿,电子束加工技术凭借其能量密度高、作用区域精准可控的优势,已成为实现多材料梯度功能构件制备的关键手段。这类构件要
微通道板增益稳定性高压老化优化
微通道板作为高灵敏度探测系统的核心部件,其增益稳定性直接决定了光电倍增器件和像增强器的长期工作性能。在实际应用中,微通道板增益随工
静电卡盘多区域热管理的高压集成化电源解决方案
在等离子体工艺设备,如刻蚀与化学气相沉积设备中,静电卡盘不仅是固定晶圆的机械夹具,更是精密的热管理中枢。随着晶圆尺寸增大至300毫米