技术资源_泰思曼高压电源

半导体设备电源国产化加速

半导体设备电源的国产化加速并非仅是市场或政策驱动的简单替代过程，它本质上是一场在高可靠性、高精度和苛刻运行环境下的技术攻坚战。成功

高压电源是晶圆制造核心设备的心脏，其性能直接决定了半导体工艺的精度、重复性和良率。在集成电路制造的新格局中，对电源的要求已从简单的

高压电源系统的电磁兼容性（EMC）抑制是确保其在敏感工业和科研环境中可靠运行的关键技术。与低压系统不同，高压系统不仅涉及传导和辐射干

极紫外（EUV）光刻是当代半导体制造中最先进的技术，其能量系统复杂且要求极高。EUV设备中的电源不仅需提供高电压、高频率与高稳定度输出，

在晶圆制造过程中，电压稳定度是影响工艺一致性与晶圆品质的关键因素之一。无论是光刻、刻蚀、沉积还是抛光环节，供电系统的稳压性能都直接

离子注入是半导体制造中改变晶圆电性特征的关键工艺，其核心在于将带电粒子以高能形式植入硅晶体中。实现这一过程需要高压电源提供稳定且可

高压电源在半导体制造设备中的能耗占比不断上升，如何在保证高性能输出的同时降低能量损耗，成为设计优化的重点。节能型高压电源的实现依赖

高压脉冲电源作为能量瞬态释放装置，在半导体制造、离子注入、等离子体激励及材料表面改性等领域中发挥着关键作用。其核心特征是能够在极短

传统高压电源的维护通常依赖定期检修或故障后修复，而预测性维护（Predictive Maintenance）通过算法对设备状态进行实时分析与寿命预测，