技术资源
高压电源助力先进封装产线建设
先进封装技术，如倒装芯片（Flip Chip）、晶圆级封装（WLP）、2 5D 3D集成中的硅通孔（TSV）工艺，对制造设备提出了新的电源需求。高压电
晶圆检测电源的高频响应优化
晶圆检测，尤其是基于电子束（E-beam）或高频探针台的先进缺陷检测与电性测试，对驱动电源提出了极高要求。这里的高频响应特指电源系统对快
高压供电技术支撑真空系统性能
在半导体制造、薄膜沉积以及表面科学研究等诸多高精尖领域中，真空系统是实现精确工艺环境的核心基础设施。高压供电技术在其中扮演着不可或
晶圆制程设备的电源精度挑战
晶圆制程设备，如光刻机、刻蚀机、CVD和离子注入机等，对供电电源的精度有着极其严苛的要求。随着制程节点不断缩小到纳米级，电源的任何微
射频系统电源模块化发展趋势
射频（RF）系统电源是半导体制造设备（如刻蚀机、$PECVD$）和通信、医疗等高科技应用的核心组成部分。随着系统集成度和功率密度的不断提升
高压电源赋能封装测试自动化升级
半导体封装测试是芯片制造的后端关键环节，自动化和精度是提高效率、保证质量的核心诉求。高压电源在封装测试设备的自动化升级中，扮演着高
等离子刻蚀设备的电源控制演进
等离子刻蚀设备是半导体制造中图形转移的关键设备，其工艺精度和均匀性完全依赖于对等离子体的精确、动态控制。电源系统，尤其是射频（RF）
晶圆清洗机高压电源节能设计
晶圆清洗是半导体制造中去除微粒和有机 无机残留物的关键步骤，对器件良率有直接影响。清洗机中涉及的高压电源主要应用于兆声波换能器驱动
智能电源推动芯片产线升级
智能电源是推动现代芯片生产线向工业4 0升级的关键技术。这里的智能不仅仅指电源具备数字控制接口，而是指电源系统内部集成了先进的感知、