技术资源_泰思曼高压电源

电子束增材制造电源的智能稳流方案

电子束增材制造（EBAM）是一种高能束流金属成形技术，其电源系统需为电子枪和聚焦透镜提供稳定的高压与精确的束流控制。电源输出的电流波动

静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）在晶圆加工中用于固定与释放工件，其电源需提供可控高压直流以形成吸附电场。卡盘吸附力与输出电压

离子注入设备的电源系统负责产生并维持高能离子束所需的加速电压与束流控制电流。此类高压电源通常在几十千伏至上百千伏范围内工作，输出功

光刻机光源系统作为半导体制造的关键能源部件，其稳定性和一致性直接影响曝光精度与线宽控制。光源电源通常为高压脉冲型，负责驱动准分子激

血液辐照设备用于防止输血后移植物抗宿主反应，其核心是通过γ射线或电子束均匀辐照血袋。电场均匀性直接影响束流分布与剂量均衡，而

静电喷涂工艺利用高压电场使粉末涂料带电并吸附到工件表面，以形成均匀涂层。高压电源通常输出60～120 kV直流电压，是系统能效与安全的关

真空镀膜设备中，高压电源用于为溅射靶、偏压电极及辅助离子源供能。随着多层膜系和复合镀膜工艺的发展，单一通道供电已无法满足工艺灵活性

离子注入是半导体制造工艺中控制掺杂浓度与分布精度的关键环节。离子注入系统利用加速电场将带电离子打入晶圆表层，而离子能量、剂量与均匀

电子束成像技术是一种基于高能电子与样品相互作用实现显微成像的方法，广泛应用于材料分析、半导体检测及微结构研究。电子束系统的分辨率和