技术资源_泰思曼高压电源

光刻机高压电源辐射噪声抑制方法

光刻机作为半导体制造的核心设备，其高压电源的辐射噪声会干扰精密光学系统和控制电路，导致晶圆曝光缺陷。辐射噪声主要源于开关电源的高频

在半导体制造工艺中，离子注入设备是定义芯片电学特性的核心装备，其高压电源（通常输出达–40 kV、400 W）需维持极高稳定性。然而

静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）作为半导体制造中的核心部件，其性能依赖于高压电源与介质界面的协同作用。介质界面作为静电场传递

准分子激光器作为深紫外波段的核心光源，在光刻、精密医疗及微纳加工等领域不可或缺。其性能高度依赖高压电源的重复精度——即输出脉冲能量

在半导体制造领域，光刻机的精度直接决定芯片的线宽极限与良率。作为光刻机的动力心脏，高压电源的瞬态恢复特性（即负载突变后电源恢复到设

离子注入技术是半导体制造中的关键工艺，其核心设备依赖超高压直流电源（通常达数百千伏）提供离子加速能量。此类电源的稳定性直接决定注入

静电卡盘作为半导体制造、精密仪器组装的核心部件，依赖高压电源产生的静电场实现工件的非接触式固定。然而，高压环境易引发电弧故障，轻则

在半导体制造、材料表面改性及先进医疗设备等领域，离子注入技术是调控材料性能的核心工艺。其核心挑战在于如何精确控制离子的能量、深度和

引言在半导体制造中，等离子体蚀刻是决定器件精度的核心工艺之一。蚀刻设备的高压电源系统直接控制等离子体的密度、能量分布及反应活性，其