技术资源_泰思曼高压电源

光刻机光源高压电源输出稳定性研究

　　光刻机光源高压电源的输出稳定性直接关系曝光重复性。光源每次脉冲的能量一致性取决于高压建立精度，电压波动会造成光强波动，进而影响

　　光刻机光源高压电源的低噪声控制关系到曝光剂量均匀性。光源高压脉冲的噪声会叠加到光强上，影响曝光线条精度。低噪声控制从电源内部噪

　　高压采样技术决定离子注入电源的测量精度与控制质量。采样点位于高压端，采样电路需要承受高压共模，同时保持信号保真度。采样方案的选

　　离子注入高压电源的动态负载适应能力决定束流扫描过程中的电压稳定。扫描周期内束流呈周期性变化，电源需要在每个周期内快速跟踪负载变

　　离子注入高压模块的优化设计围绕绝缘、热与电磁兼容三条主线展开。注入机高压等级高，模块内部电场分布直接决定绝缘可靠性；连续运行时

　　离子注入高压电源的输出波动会直接影响束流剂量均匀性。加速电压波动改变离子能量，纹波叠加在束流上产生能量展宽，注入深度分布随之恶

　　静电卡盘高精度稳压的核心是基准源与分压网络的稳定性。输出电压设定值来自精密基准，分压网络采用低温漂电阻串并联结构，分压比经过激

　　静电卡盘高压侧的电流检测与低压侧不同，高压端电流包含负载电流与泄漏电流两个分量，两者相差悬殊。泄漏电流通常在微安级，负载电流在

　　静电卡盘的电压均匀性直接决定晶圆吸附力分布与温控均匀性。多区电极结构下，中心区与边缘区电极间距、绝缘层厚度存在工艺偏差，同一设