技术资源

加速器高压电源数字化智能控制平台在粒子束实验远程监控中的

粒子束实验是基础物理研究和应用研究的重要手段,加速器是产生高能粒子束的核心设备。高压电源为加速器提供工作电压,其控制精度和稳定性直

离子注入高压电源高压隔离保护电路在半导体先进制程中的安全设计

离子注入是半导体先进制程的关键工艺,高压电源为离子注入机提供加速电压。在半导体制造环境中,安全设计是设备设计的基本要求。高压隔离保

镀膜脉冲高压电源波形动态响应在多层功能薄膜沉积工艺中的优化

多层功能薄膜是现代功能材料的重要组成部分,广泛应用于光学器件、电子器件和防护涂层等领域。脉冲高压电源为镀膜设备提供功率,其波形动态

辐照杀菌高压电源剂量率精确控制在食品保鲜与灭菌处理中的验证

辐照杀菌技术是食品保鲜和灭菌处理的有效方法,高压电源为辐照设备提供工作电压。剂量率的精确控制是实现有效杀菌和保证食品品质的关键。在

E-CHUCK高压电源绝缘材料创新在高温真空环境长期可靠性中的研究

静电卡盘是半导体制造设备中固定晶圆的关键部件,高压电源为静电卡盘提供吸附电压。在高温真空环境下,绝缘材料的性能直接影响静电卡盘和高

320kV高压电源穿透能力增强在大型工业无损检测设备中的工程应用

大型工业无损检测设备是保障工业装备安全运行的重要工具,X射线检测技术以其直观准确的特点被广泛应用。三百二十千伏高压电源为X射线发生器

离子注入设备中高压电源剂量反馈闭环系统在芯片制造中的优化应用

离子注入是半导体芯片制造的关键工艺,用于在晶圆中引入掺杂原子形成器件结构。高压电源为离子注入机提供加速电压和束流控制,其性能直接影

半导体光刻机光源准分子激光器高压电源能量同步控制的先进算法研究

光刻机是半导体制造的核心设备,准分子激光器是深紫外光刻的主流光源。高压电源为准分子激光器的放电激励提供能量,其能量同步控制精度直接

离子束系统高压电源在纳米级加工中心与束流稳定中的高精度控制

离子束加工技术是纳米级精密加工的重要手段,在纳米加工中心和离子束设备中发挥着关键作用。高压电源作为离子束系统的核心部件,其高精度控