技术资源
加速器束流踢出器高压快脉冲电源
在高能物理加速器、同步辐射光源及散裂中子源等大型科学装置中,束流踢出器是一种用于将储存环中的束流在极短时间内偏转引出,或用于束流注
电子束金属3D打印残余应力控制电源
电子束熔丝增材制造或电子束粉末床熔融技术,在制备大型、复杂结构的高性能金属构件方面展现出巨大潜力。然而,成形过程中因快速熔凝和复杂
微通道板动态范围扩展高压调制
微通道板作为一种多通道连续打拿极电子倍增器件,是高端光电探测系统如像增强器、光子计数成像设备、质谱仪探测器等领域的核心敏感元件。其
准分子激光器能量监测电源
准分子激光器在微电子光刻、材料表面处理、医疗及科研等领域应用时,其输出脉冲能量的稳定性是衡量激光器性能和决定工艺效果的关键参数。为
离子注入中束流稳定电源设计
在半导体离子注入工艺中,注入到硅片中的杂质原子浓度(剂量)由离子束流强度与注入时间的乘积精确决定。因此,束流的稳定性是控制掺杂均匀
静电卡盘双极性吸附电源研究
在半导体干法工艺(如等离子体刻蚀、化学气相沉积)中,静电卡盘是承载和固定晶圆的核心部件。随着工艺尺寸不断缩小,对晶圆温度均匀性、应
电子束曝光高压电源图形写入精度
在纳米级集成电路制造、先进掩模版制作以及纳米器件研发中,电子束直写曝光技术因其无需掩模、分辨率极高的特点,成为实现最精细图形结构的
PPM级电源本底噪声抑制技术
在精密计量、基础科学研究(如量子物理、原子钟)、高分辨率质谱以及某些尖端半导体测试领域,为敏感负载或参考电路供电的电源,其输出直流
微通道板探测器电源增益调节
在质谱分析、粒子物理实验、光子计数成像等众多高灵敏度探测领域,微通道板探测器因其高增益、快速响应和优良的空间分辨能力而被广泛应用。