技术资源
加速器电源模块并联均流策略
在大功率粒子加速器、同步辐射光源以及大型工业辐照装置中,为电磁铁、高频系统、离子源等负载供电的高压或大电流直流电源,其功率需求常高
质谱仪电源多级梯度输出控制
在液相色谱-质谱联用技术,特别是基于电喷雾或大气压化学电离源的系统中,为了优化复杂样品中不同性质化合物的离子化效率、传输效率以及后
320kV高压电源绝缘结构创新
在大型加速器、高压电子束设备、特种电力设备测试平台等高端应用中,320kV直流或工频高压电源是核心的能量供应单元。在此电压等级下,电场
刻蚀设备高频高压电源设计
在等离子体刻蚀、反应离子刻蚀等半导体及微纳加工设备中,高频高压电源是为产生和维持等离子体、以及控制离子对晶圆表面轰击能量的核心部件
静电植绒高压电源电场均匀性优化
在静电植绒工艺中,短纤维在高压静电场作用下被极化并沿电场线方向取向,最终垂直植入涂有粘合剂的基材表面。植绒质量的优劣,直观体现在绒
离子束系统电源束斑整形研究
在聚焦离子束加工、离子注入、离子束刻蚀及分析等技术中,离子束斑的形状、尺寸、强度分布(即束斑轮廓)是决定加工分辨率、注入均匀性、刻
真空镀膜高压电源弧光抑制技术
在采用磁控溅射、电弧离子镀等技术的真空镀膜过程中,为靶材或基板施加的直流或脉冲高压是驱动等离子体放电、实现材料溅射或离子轰击的核心
PPM级电源长期稳定性校准
在计量科学、精密光谱分析、量子基准实验以及部分高端半导体计量设备中,对电压或电流基准的稳定性要求达到了惊人的严苛程度,其长期漂移需
磁控溅射双极脉冲电源创新
在先进的物理气相沉积领域,磁控溅射技术是制备各类功能薄膜的主流方法。为了进一步提升薄膜质量(如提高致密度、改善附着力、降低内应力、