技术资源_泰思曼高压电源

静电卡盘高压电源在等离子体CVD设备与刻蚀腔中的长时稳定性研究

等离子体化学气相沉积和刻蚀是半导体制造的核心工艺，静电卡盘在这些工艺中扮演着晶圆承载和温控的关键角色。在我从事半导体设备高压电源研

机器人喷涂臂的广泛应用推动了静电喷涂技术的自动化进程，而高压电源的轻量化设计是实现机器人喷涂臂灵活运动的关键因素之一。在我从事高压

高压测试实验室是电力设备研发、生产和维护的重要基础设施，其核心装备之一就是高压电源。在我参与设计和建设多个高压测试实验室的经历中，

静电粉末喷涂是现代表面处理技术的重要组成部分，其核心原理是利用高压静电场使粉末粒子带电，在电场力作用下吸附到工件表面。正负切换高压

电子倍增器是质谱仪中最常用的离子检测器件，其高灵敏度和快速响应特性使其成为痕量分析的必备工具。在我从事分析仪器高压电源研究的几十年

微通道板探测器是现代光子探测技术的核心器件，其工作原理基于电子倍增效应。当光子或带电粒子入射到微通道板的通道内壁时，会激发出二次电

静电卡盘技术是现代半导体制造工艺中不可或缺的关键技术，而E-CHUCK高压电源则是这一技术的核心驱动力。在我从事高压电源研究的五十年间，

移动工业CT系统的出现彻底改变了传统无损检测的工作模式，使得大型构件的现场检测成为可能。作为CT系统的核心部件，高压电源的设计直接影响

在我从事高压电源研究与教学的半个世纪里，中子加速器高压电源始终是最具挑战性的技术领域之一。这类电源不仅需要提供极高的输出电压，还必