技术资源
电镜高压电源高压端噪声控制
电镜高压采样装置的电镜高压电源高压端噪声控制直接受电子光学加速区状态影响，电源基准点为35千伏、0 55千瓦，工程目标是低频漂移与高
电镜高压电源电子束稳定性监测
透射电镜高压反馈柜的电镜高压电源电子束稳定性监测直接受电子光学加速区状态影响，电源基准点为30千伏、0 51千瓦，工程目标是输出与工
电镜高压电源电子束加速电压精度
扫描电镜加速单元的电镜高压电源电子束加速电压精度直接受电子光学加速区状态影响，电源基准点为25千伏、0 47千瓦，工程目标是精密输出
电子束增材制造高压电源工艺稳定性
电子束三维打印产线的电子束增材制造高压电源工艺稳定性直接受电子枪与真空成形舱状态影响，电源基准点为70千伏、8千瓦，工程目标是跨
电子束增材制造高压电源运行参数采集
金属粉末熔融成形舱的电子束增材制造高压电源运行参数采集直接受电子枪与真空成形舱状态影响，电源基准点为65千伏、7千瓦，工程目标是
电子束增材制造高压电源高压绝缘监测
电子束增材制造设备的电子束增材制造高压电源高压绝缘监测直接受电子枪与真空成形舱状态影响，电源基准点为60千伏、6千瓦，工程目标是
高压电源真空环境放电特性研究
电子枪真空腔供电装置的高压电源真空环境放电特性研究以45千伏输出和4 87千瓦负载为基准，核心矛盾是放电起始与熄灭状态。现场曾出现降
高压电源真空腔体供电技术
真空镀膜机高压接口的高压电源真空腔体供电技术以42千伏输出和4 5千瓦负载为基准，核心矛盾是腔体负载与供电动态配合。现场曾出现抽气
高压电源真空环境绝缘设计方法
真空干燥设备供电端的高压电源真空环境绝缘设计方法以39千伏输出和4 13千瓦负载为基准，核心矛盾是固体绝缘与气体间隙的配合。现场曾出