技术资源
离子注入机电源模块化发展趋势
离子注入机高压电源功率从300kW到2MW不等，电压覆盖10kV-3000kV，传统一体式设计已无法满足高可靠性、可维护性与柔性扩展需求。模块化正成
高压电源驱动离子束刻蚀精度提升
离子束刻蚀对束流能量稳定性的要求已进入ppm级，任何电压微小波动都会直接映射为刻蚀侧壁角度偏差与深度不均。高压电源作为决定离子能量唯
高压电源驱动封测设备精度提升
在集成电路封测环节中，测试设备的精度直接决定了芯片的良率和可靠性，而高压电源作为核心驱动部件，其性能的优提升往往能带来测试精度的显
封测设备电源国产化及应用探索
长期以来，高端封测设备所配备的高压电源主要依赖进口，不仅价格昂贵、供货周期长，而且在关键时刻容易受制于人。随着国内宽禁带半导体器件
高压电源优化封测设备维护效率
封测设备的高压电源长期处于高频开关、高电压应力状态，传统电源的故障诊断困难、维修门槛高、停机损失大，已成为制约产线OEE提升的主要瓶
封测设备电源模块化创新路径
半导体封测设备对电源系统的可靠性、响应速度和可维护性提出了极高要求，尤其在晶圆级测试、最终测试以及系统级测试阶段，高压电源往往需要
高压电源提升检测产线稳定性
晶圆与封测检测产线最害怕的不是产能不足，而是因电源波动导致的批量误判与漏判。高压电源稳定性已成为制约检测产线OEE的最关键因素，近年
检测设备电源节能与效率提升方案
检测设备单台功率虽不如刻蚀、沉积设备，但7×24小时高负荷运行与频繁的高压脉冲需求使电源能耗同样惊人。检测电源节能与效率提升方案
高压电源驱动检测工艺精度优化
检测工艺精度的瓶颈已从光学系统、机械结构逐步转移到高压电源的输出特性，电压的微小不稳定直接放大为缺陷误判或漏判。高压电源通过超低纹