技术资源

高压电源在真空镀膜设备的应用

真空镀膜设备广泛应用于光学器件、电子元件、显示面板以及半导体表面处理等领域,其性能与稳定性在很大程度上依赖于高压电源的驱动特性。镀

光刻机电源国产化解决方案探索

在半导体制造工艺中,光刻机是最为关键的设备之一,其性能直接决定芯片制程的精度与良率。随着国内半导体产业的快速发展,光刻机的核心部件

晶圆检测环节高压电源需求增长

随着芯片尺寸不断缩小、结构复杂度显著提升,晶圆检测环节对精度与稳定性的要求也随之提高。高压电源在检测设备中的应用范围日益扩大,尤其

高压电源应用拓展至刻蚀装备核心

刻蚀设备是晶圆制造中实现微纳结构图形转移的核心装备,对电源系统的稳定性、瞬态响应和抗干扰性能要求极高。传统的刻蚀电源多为中压或分布

晶圆清洗电源控制的数字化升级

晶圆清洗工艺作为半导体制造流程中的关键环节,其目标是去除晶圆表面杂质、颗粒与有机残留,以确保后续工艺的精度与一致性。在清洗设备中,

高压电源技术助力封测自动化设备

在半导体封装与测试环节中,自动化设备的电源系统性能对整体生产效率与测试精度起着决定性作用。随着芯片封装密度的提升与测试频率的增加,

晶圆制程设备高压供电一体化趋势

随着半导体制造工艺的持续演进,晶圆制程设备在工艺精度、产能效率和系统可靠性方面提出了更高的要求。传统的分布式供电系统在高压供电环节

多通道高压电源在测试设备的突破

随着半导体器件集成度与复杂度的不断提高,尤其是在存储器(Memory)、电源管理芯片(PMIC)和高性能计算芯片的自动化测试设备(ATE)领域

晶圆离子注入工艺电源国产化进展

离子注入是半导体制造中的核心步骤,用于掺杂以改变半导体材料的电学特性。其工艺对电源系统的要求极其苛刻,是高压电源应用领域中的皇冠。