技术资源
320kV医用回旋加速器剥离箔高压静电悬浮电源
在医用放射性同位素生产领域,回旋加速器是制造如氟-18、碳-11、氧-15等短寿命正电子核素的核心设备。这些核素广泛用于正电子发射断层扫描
静电喷涂航空叶片180kV机器人轨迹高压跟踪
在航空发动机涡轮叶片或飞机结构件的表面防护涂层制备中,静电喷涂技术因其优异的涂层均匀性、高材料利用率以及对复杂曲面的良好适应性而被
静电卡盘12区独立高压实时弓曲补偿系统
在半导体制造、先进封装以及大尺寸平板显示面板的加工中,晶圆或玻璃基板在经历多道高温薄膜沉积、刻蚀、退火工艺后,会产生复杂且不可预测
450kV电子束定向能量沉积DEBD高压束流诊断电源
电子束定向能量沉积作为增材制造技术的一个重要分支,以其能量密度高、真空环境纯净、适用于高活性难熔材料等优点,在航空航天、高端模具修
450kV电子束定向能量沉积DEBD高压束流诊断电源
电子束定向能量沉积作为增材制造技术的一个重要分支,以其能量密度高、真空环境纯净、适用于高活性难熔材料等优点,在航空航天、高端模具修
160kV EUV光刻E-Chuck晶圆背面零残留高压策略
在极紫外光刻这一半导体制造最前沿的技术中,为实现13 5nm波长光源的高分辨率成像,整个光学路径和工件台环境都处于超高真空状态。作为承载
安瓿瓶西林瓶双工位160kV闪光高压并行触发
在制药行业的最终包装容器(安瓿瓶、西林瓶)密封性在线检测中,基于高压放电原理的检测技术因其高灵敏度与高速性而被广泛应用。其原理是向
320kV重离子治疗同步加速器高压剥离器电源
在重离子癌症治疗装置中,同步加速器是核心的离子加速与引出单元。为了将离子源产生的低电荷态离子(如碳离子的C4+或C6+)注入到环形同步加
静电卡盘高压多区独立PID纹波抑制系统
在半导体先进制造、平板显示以及高精度真空镀膜工艺中,静电卡盘作为晶圆或基板的非接触式夹持工具,其性能直接关系到工艺均匀性与产品良率