技术资源

450kV核废料固化电子束高压靶极热负载均衡电源

在核废料处理领域,高能电子束辐照技术被用于处理中低放射性废物,例如将液态废液或污泥中的水分快速蒸发,并将残留物熔融固化在金属或陶瓷

E-Chuck 3nm工艺高温烘烤600℃耐受高压模块

随着半导体制造工艺演进至3nm及更先进节点,对晶圆加工过程中热预算的控制和均匀性要求达到了原子级别。在薄膜沉积、离子注入后退火以及某

450kV电子束高熵合金增材高压束流闭环稳流

在电子束增材制造领域,尤其是针对高熵合金这类成分复杂、对热输入极其敏感的新兴材料,制造过程的稳定性和重复性是获得预期显微组织与力学

160kV EUV光刻E-Chuck晶圆释放零电弧高压泄放

在极紫外光刻机的生产循环中,晶圆交换效率是影响设备吞吐量的关键因素之一。静电卡盘作为晶圆的夹持机构,在完成曝光后,需要快速、安全地

安瓿瓶冻干粉针剂180kV四灯环形闪光高压同步

在高端冻干粉针剂(如生物制剂、疫苗)的无损检测领域,环形闪光灯配合高分辨率工业相机,已成为对安瓿瓶内冻干粉饼完整性、饱满度及瓶体外

320kV质子治疗旋转机架高压滑环传输技术

在质子束放射治疗这一尖端肿瘤治疗技术中,为实现对肿瘤病灶从多角度进行精准照射,同时减少对周围健康组织的损伤,质子束流需要能够被引导

静电喷涂粉末冶金200kV防桥接栅网高压优化

在粉末冶金和先进陶瓷成型领域,静电喷涂技术被用于在金属或陶瓷坯体上均匀涂覆一层微米或亚微米级的粉末,作为粘结剂、润滑剂或功能层,为

450kV电子束冷床熔融EBF3高压束流自适应电源

电子束冷床熔炼技术是制备高纯度、无污染钛合金、高温合金及难熔金属的关键工艺。第三代电子束冷床炉在熔炼规模、自动化程度及工艺控制精度

160kV EUV光刻E-Chuck晶圆释放纳秒级零火花技术

在极紫外光刻这一芯片制造皇冠上的明珠工艺中,晶圆的每一次吸附与释放都关乎价值数百万美元的芯片的命运。EUV光刻机内的静电卡盘工作电压