技术资源

新型模块化智能数字化高压电源集成技术在超精密离子束光刻设备中的应用

超精密离子束光刻技术作为下一代半导体制造的关键工艺,需要在纳米尺度上实现图案的精确转移。离子束光刻设备通过聚焦离子束直接写入或投影

高压电源低纹波与电磁兼容在扫描透射电镜中的控制研究

扫描透射电子显微镜作为表征材料微观结构与成分的重要工具,其成像分辨率与元素分析精度直接取决于电子束的品质。高压电源作为电子枪与加速

模块化高压电源在下一代医用科研加速器多治疗室与前沿科研平台中的应用

科研加速器作为高能物理研究、材料科学及医学应用的核心设备,其性能直接决定实验数据的精度与治疗方案的可靠性。模块化高压电源作为加速器

精密高压电源在激光微纳加工柔性智能电子皮肤显示集成器件规模化生产中的应用

柔性电子技术作为新兴的跨学科领域,正在推动电子器件从刚性形态向可弯曲、可拉伸方向演进。智能电子皮肤与柔性显示器件作为该领域的典型应

低纹波高压模块在微通道板科研天文观测高能粒子科研探测器中的应用

微通道板作为一种高性能电子倍增器件,在科研天文观测及高能粒子探测领域发挥着关键作用。其工作原理基于玻璃基板上大量微型通道的二次电子

智能高压电源在超高分辨率智能制造在线CT检测质量实时闭环控制中的应用

现代智能制造对产品质量控制提出了前所未有的精度要求,在线CT检测技术作为无损检测领域的重要手段,能够在生产线上实时获取产品内部结构的断

静电卡盘高压电源在最先进纳米级芯片真空集成加工平台中的应用

在现代半导体制造领域,纳米级芯片的加工精度要求日益严苛,真空集成加工平台作为核心生产设备,其性能直接影响芯片的良品率与功能可靠性。静

智能高压电源在EUV光源等离子体放电驱动系统中的精确同步

极紫外光刻技术作为先进半导体制造的关键工艺,其光源系统的稳定性与可靠性直接决定了光刻分辨率与生产效率。EUV光源通过激光激发等离子体

大功率高压直流电源在工业烟气多污染物协同等离子体去除系统中的应用

工业烟气多污染物协同治理是环境保护领域的重点课题,传统单一污染物治理技术难以满足日益严格的排放标准。等离子体技术作为一种新型的烟气