技术资源
单光子雪崩二极管阵列偏置高压电源的通道间串扰抑制
单光子雪崩二极管阵列是激光雷达、量子通信及荧光寿命成像的核心探测器,其工作在盖革模式——偏置电压高于击穿电压,单个光子即可触发雪崩
静电吸盘高压电源的介电层电荷注入与消散动力学研究
静电吸盘是半导体制造中固定晶圆的核心部件,其工作原理是在介电层两侧施加高压,产生静电吸力。长期运行中,电荷从电极注入介电层,并在其
螺旋型通道电子倍增器高压电源的脉冲堆积效应抑制策略
螺旋型通道电子倍增器是质谱仪、电子能谱仪及空间粒子探测器的核心元件,其工作原理是二次电子倍增——入射粒子撞击通道内壁产生二次电子,
医用回旋加速器高频高压电源的自动频率调谐系统设计
医用回旋加速器是生产正电子放射性药物(如FDG)的核心设备,用于PET-CT诊断。其工作原理是利用高频高压电场,在磁场中反复加速带电粒子(
电子束粉末床熔融增材制造高压电源的束斑质量监测系统
电子束粉末床熔融作为一种先进的金属增材制造技术,通过在粉末床上逐层扫描电子束,选择性熔化金属粉末,制造出致密的金属零件。其成型精度
场发射电子显微镜肖特基发射极高压电源的发射稳定性
场发射电子显微镜作为纳米尺度观测和分析的核心工具,其成像分辨率和分析精度直接取决于电子束的亮度、单色性和稳定性。肖特基发射极因其高
原子层蚀刻设备双频高压偏置电源的离子能量独立调控技术
原子层蚀刻是下一代半导体制造的关键技术,可实现原子级精度的材料去除,满足3纳米及以下节点的工艺需求。ALE通过交替的自限制反应步骤,每
准分子激光器气体净化系统高压放电电源的功耗优化
准分子激光器是深紫外光刻、眼科手术和材料加工的核心光源,其工作气体(如ArF、KrF)在放电过程中会逐渐劣化,产生杂质气体,降低激光功率
极紫外光刻机污染监控传感器用微型高压电离电源设计
极紫外光刻机是7纳米及以下节点芯片制造的核心装备,其工作波长为13 5纳米,在真空环境中运行。EUV光路中的残余气体分子(如水汽、碳氢化合