TMS6400
扫描电子显微镜;特征尺寸测量用扫描电子显微镜;高分辨率测长仪;质谱仪;电子束;离子束;平板探测器
TRB6306
光电倍增管;高压测试;微通道板;辐射计数器;质谱仪;静电卡盘;电子束/离子束