技术资源_泰思曼高压电源

准分子激光器能量监测电源

准分子激光器在微电子光刻、材料表面处理、医疗及科研等领域应用时，其输出脉冲能量的稳定性是衡量激光器性能和决定工艺效果的关键参数。为

在半导体离子注入工艺中，注入到硅片中的杂质原子浓度（剂量）由离子束流强度与注入时间的乘积精确决定。因此，束流的稳定性是控制掺杂均匀

在半导体干法工艺（如等离子体刻蚀、化学气相沉积）中，静电卡盘是承载和固定晶圆的核心部件。随着工艺尺寸不断缩小，对晶圆温度均匀性、应

在纳米级集成电路制造、先进掩模版制作以及纳米器件研发中，电子束直写曝光技术因其无需掩模、分辨率极高的特点，成为实现最精细图形结构的

在精密计量、基础科学研究（如量子物理、原子钟）、高分辨率质谱以及某些尖端半导体测试领域，为敏感负载或参考电路供电的电源，其输出直流

在质谱分析、粒子物理实验、光子计数成像等众多高灵敏度探测领域，微通道板探测器因其高增益、快速响应和优良的空间分辨能力而被广泛应用。

在电子束选区熔融增材制造过程中，高能量密度的电子束作为热源，按照三维模型的切片数据，选择性地熔化金属粉末床，逐层堆积成形。电子束的

准分子激光器作为深紫外至紫外波段的高功率脉冲光源，在半导体光刻、微加工、医疗及科研领域不可或缺。其激光产生依赖于高压脉冲放电激励工

在先进半导体制造工艺中，如刻蚀、薄膜沉积和离子注入，晶圆温度的均匀性和稳定性是决定工艺结果均匀性、器件性能及良率的核心因素之一。静