技术资源_泰思曼高压电源

静电卡盘高压多区独立PID纹波抑制系统

在半导体先进制造、平板显示以及高精度真空镀膜工艺中，静电卡盘作为晶圆或基板的非接触式夹持工具，其性能直接关系到工艺均匀性与产品良率

在电子束熔丝增材制造领域，特别是针对钛合金、高温合金等活性金属的大型结构件制造，电子束作为热源，以其高能量密度、真空环境及扫描灵活

在极紫外光刻系统中，静电卡盘承载着价值数百万美元的掩模版或晶圆，其吸附与释放过程的可靠性直接关系到设备的可用性与产出晶圆的良率。随

在无菌注射剂生产中，安瓿瓶作为最终药品的封装容器，其完整性检测是保障用药安全的核心环节。传统的基于高频高压电场的灯检技术，通过在安

在回旋加速器，特别是中能强流回旋加速器中，如何将束流在真空室内加速至预定能量后，高效、纯净且低发射度增长地引出，是涉及束流物理与工

在工业材料处理、医疗光疗以及科学研究等领域，准分子激光器以其输出波长短、脉冲能量高、峰值功率大的特点，成为了不可替代的光源。其中，

在农业与生物学领域，低剂量辐照用于种子突变育种、病虫害防治或延长保质期，是一项重要技术。基于电子加速器的辐照装置因其剂量率可控、无

随着半导体制造业向450mm晶圆过渡，尽管其大规模量产进程有所调整，但相关核心技术，尤其是承载超大面积、超薄晶圆的静电卡盘（E-Chuck）技

在电子束选区熔化（EBSM）等金属增材制造技术中，高功率密度的电子束作为热源，其精确的能量输入控制是获得致密、无缺陷、性能优异的金属零