技术资源_泰思曼高压电源

320kV中子发生器高压电源弧光保护

中子发生器作为一种紧凑型中子源，在石油测井、爆炸物检测、材料分析及科研领域广泛应用。其工作原理通常是通过直流高压电源将氘离子加速至

准分子KrF激光器（工作波长为248纳米）作为深紫外波段的重要相干光源，在半导体光刻、精密微加工、材料表面处理及科学研究中具有不可替代的

在微电子器件制备、光子晶体加工、表面功能化改性等前沿领域，离子束刻蚀技术因其卓越的方向性、广泛的材料兼容性和出色的刻蚀轮廓控制能力

在航空航天、重型压力容器、大型铸锻件等关键工业领域的无损检测中，高能X射线探伤是检测内部缺陷的核心手段。为产生具有足够穿透能力的X射

在先进集成电路制造的浸没式光刻工艺中，晶圆台及其上的静电卡盘系统是实现纳米级对准与成像精度的关键机械平台。E-Chuck通过施加高压静电

离子注入工艺对束流能量与剂量的控制精度要求已进入eV与亚微秒量级，传统模拟控制已触及物理极限。通过高压电源全栈数字化改造，建立从底层

离子注入机高压电源结构复杂、电压等级高、内部储能巨大，传统维护一旦处置不当极易引发安全事故或长时间停机，传统维修模式平均耗时8-12小

离子注入产线正从人工经验主导走向数据驱动的全智能运行，高压电源作为能量与信息的双载体，已成为推动产线智能化的核心引擎。它不仅提供稳

离子注入机电源电压跨度从几千伏到数兆伏，功率数百千瓦至数兆瓦，可靠性与节能看似矛盾的目标实际可通过系统性设计实现双赢。最新方案在极