技术资源
高压电源数字化驱动离子注入精准化
离子注入工艺对束流能量与剂量的控制精度要求已进入eV与亚微秒量级，传统模拟控制已触及物理极限。通过高压电源全栈数字化改造，建立从底层
离子注入机电源维护效率优化方案
离子注入机高压电源结构复杂、电压等级高、内部储能巨大，传统维护一旦处置不当极易引发安全事故或长时间停机，传统维修模式平均耗时8-12小
高压电源驱动离子注入产线智能化
离子注入产线正从人工经验主导走向数据驱动的全智能运行，高压电源作为能量与信息的双载体，已成为推动产线智能化的核心引擎。它不仅提供稳
离子注入机电源可靠性与节能方案
离子注入机电源电压跨度从几千伏到数兆伏，功率数百千瓦至数兆瓦，可靠性与节能看似矛盾的目标实际可通过系统性设计实现双赢。最新方案在极
高压电源助力离子注入机产能提升
离子注入机产能的瓶颈已从机械扫描速度转向电源系统对高束流、高能量、快速切换的综合支持能力。高压电源通过大功率密度、快速能量切换、精
高压电源优化刻蚀产线稳定性
刻蚀产线对等离子体稳定性要求极高，射频功率或偏压只要出现0 5%的瞬态波动，就可能导致数十纳米的CD偏差或选择比失控。高压电源作为等离子
刻蚀机电源模块化提升生产灵活性
刻蚀产线经常面临新产品快速导入、多品种小批量混线、工艺窗口频繁调整的现实需求，传统一体式高压电源功能固定、功率档位单一，一旦工艺变
CMP设备电源智能化升级路径
CMP设备电源智能化已从简单的数字面板走向深度学习、工艺闭环、预测维护的全面融合，升级路径分为感知层、控制层、决策层三个递进阶段，每
高压电源提升CMP产线稳定性
CMP产线最怕的不是产能不足，而是因电源波动导致的划伤、碟形凹陷、蚀坑等致命缺陷。高压电源稳定性已成为决定300mm晶圆抛光后表面质量的关