技术资源

智能高压电源在EUV光源等离子体放电驱动系统中的精确同步

极紫外光刻技术作为先进半导体制造的关键工艺,其光源系统的稳定性与可靠性直接决定了光刻分辨率与生产效率。EUV光源通过激光激发等离子体

大功率高压直流电源在工业烟气多污染物协同等离子体去除系统中的应用

工业烟气多污染物协同治理是环境保护领域的重点课题,传统单一污染物治理技术难以满足日益严格的排放标准。等离子体技术作为一种新型的烟气

高压脉冲电源在高压电脉冲石油开采增产设备中的现场应用研究

高压电脉冲石油开采增产技术作为提高油井产量和采收率的重要手段,在石油工程领域得到广泛应用。该技术通过井下高压脉冲放电产生的冲击波和

模块化高压电源在医用束治疗眼部肿瘤科研加速器中的高可靠性配置

医用束治疗眼部肿瘤科研加速器作为肿瘤放射治疗的重要装备,其运行可靠性直接关系到患者的治疗效果与安全。眼部肿瘤位置特殊,周围分布着视

精密高压电源在电子束微纳3D打印系统中的束流实时反馈

电子束微纳三维打印技术作为新兴的增材制造工艺,在微纳器件制造、功能材料制备等领域展现出独特优势。电子束的聚焦质量、能量分布和位置控

低纹波高压模块在微通道板科研中子位置灵敏探测器中的增益控制

科研中子位置灵敏探测器作为中子散射实验的核心检测设备,其空间分辨率与探测效率直接影响着实验数据的科学价值。微通道板作为位置灵敏探测

静电吸附高压电源在超大规模集成电路掩膜清洁设备中的均匀电场

超大规模集成电路制造过程中,光刻掩膜的清洁度直接影响着芯片的良品率与性能表现。掩膜表面的微小颗粒污染物在光刻过程中被转移到晶圆上,

新型高压发生器在便携式考古遗址三维X射线扫描仪中的一体化

便携式考古遗址三维X射线扫描仪作为文化遗产保护与考古研究的重要技术装备,其核心功能在于对考古现场进行非侵入性的三维成像,揭示地下埋

大功率脉冲高压电源在电火花高速加工模具设备中的能量精确注入

电火花加工技术作为模具制造领域的重要工艺手段,其加工效率与质量很大程度上取决于脉冲高压电源的性能表现。大功率脉冲高压电源在电火花高