技术资源_泰思曼高压电源

正负切换高压电源高压输出切换时电压过冲与负载电容关系

　　正负切换高压电源在极性转换瞬间，输出端经常出现明显的电压过冲。过冲幅度与负载电容的关系在现场表现得很直接：负载电容越大，切换时

　　低纹波高压电源的纹波指标靠输出滤波电容撑着，电容容量衰减后纹波逐步恶化。问题在于容量衰减是渐进的，纹波升高也是渐进的，两者叠加

　　静电吸盘在脱附环节常遇到晶圆残留电荷的问题。吸附过程中晶圆表面积累的电荷在断开吸附电压后不会立即消失，残余电荷产生的静电力使晶

　　通道电子倍增器工作电压的过压保护，动作阈值设得不准，比没有保护更麻烦。阈值偏低，正常的工作电压波动就触发保护，设备频繁中断；阈

　　电子倍增器的增益曲线在标定后使用，标定结果的有效性建立在供电电压稳定的前提下。输出电压一旦波动，增益曲线整体偏移，按旧曲线推算

　　静电卡盘的吸附力闭环控制在薄晶圆和翘曲晶圆工艺中暴露出响应滞后的问题。吸附力设定值变化后，实际夹紧动作要经过一段时间才到位，期

　　高压输出端的电弧放电是320kV设备运行中破坏力最大的故障形式。电弧一旦建立，能量集中在很小的通道内，绝缘表面会在毫秒级时间内烧蚀

　　一台225kV设备在例行纹波测试中显示高频分量逐月走高，起初判断是输出滤波网络的问题，排查后确认根源在倍压整流级。倍压电容的等效串

离子注入高压电源束流能量污染与高压滤波电容容量关系，是束流能量污染与滤波电容容量的工程课题。离子注入高压电源束流能量污染与高压滤波