技术资源
450kV电子束冷床熔融EBF3高压束流自适应电源
电子束冷床熔炼技术是制备高纯度、无污染钛合金、高温合金及难熔金属的关键工艺。第三代电子束冷床炉在熔炼规模、自动化程度及工艺控制精度
160kV EUV光刻E-Chuck晶圆释放纳秒级零火花技术
在极紫外光刻这一芯片制造皇冠上的明珠工艺中,晶圆的每一次吸附与释放都关乎价值数百万美元的芯片的命运。EUV光刻机内的静电卡盘工作电压
安瓿瓶高速旋转移栽120kV双灯同步闪光高压系统
在制药行业无菌灌装生产线末端,安瓿瓶的密封性检测是确保药品安全的关键质量控制环节。随着生产线速度不断提升,每分钟处理数百甚至上千支
320kV医用回旋加速器剥离箔高压静电悬浮电源
在医用放射性同位素生产领域,回旋加速器是制造如氟-18、碳-11、氧-15等短寿命正电子核素的核心设备。这些核素广泛用于正电子发射断层扫描
静电喷涂航空叶片180kV机器人轨迹高压跟踪
在航空发动机涡轮叶片或飞机结构件的表面防护涂层制备中,静电喷涂技术因其优异的涂层均匀性、高材料利用率以及对复杂曲面的良好适应性而被
静电卡盘12区独立高压实时弓曲补偿系统
在半导体制造、先进封装以及大尺寸平板显示面板的加工中,晶圆或玻璃基板在经历多道高温薄膜沉积、刻蚀、退火工艺后,会产生复杂且不可预测
450kV电子束定向能量沉积DEBD高压束流诊断电源
电子束定向能量沉积作为增材制造技术的一个重要分支,以其能量密度高、真空环境纯净、适用于高活性难熔材料等优点,在航空航天、高端模具修
450kV电子束定向能量沉积DEBD高压束流诊断电源
电子束定向能量沉积作为增材制造技术的一个重要分支,以其能量密度高、真空环境纯净、适用于高活性难熔材料等优点,在航空航天、高端模具修
160kV EUV光刻E-Chuck晶圆背面零残留高压策略
在极紫外光刻这一半导体制造最前沿的技术中,为实现13 5nm波长光源的高分辨率成像,整个光学路径和工件台环境都处于超高真空状态。作为承载